近日，国家“十二五”科技创新成就展在北京召开，此次展览中的国家科技重大专项（简称“专项”），向人们展示了五年以来“专项”攻克的一批关键技术，研制的一批高端装备，推出的一批重大产品以及培育的一批具有国际竞争力的国内企业。6月3日，党和国家领导人习近平、李克强、张德江、俞正声、刘云山、王岐山参观了展览。

其中七星电子生产的流量计作为“02专项”中的关键核心部件产品，受邀展出了为大规模集成电路行业量身打造的CS系列数字式气体质量流量控制器。

七星电子是“02专项”的重点承担企业，先后承担了多项12吋集成电路工艺设备开发，涵盖90-14纳米技术代，研制产品包括立式氧化炉、LPCVD（低压化学气相沉积）、铜互连单片清洗机、气体质量流量控制器等。通过持续攻坚克难，七星电子 “02专项”项目在“十二五”期间取得累累硕果。12吋立式氧化炉采用了先进的MBTC控温模型技术，大大提高了控温精度、最大限度地降低了热预算，完成了集成电路大生产线验证，实现了对国内主流集成电路芯片企业中芯国际、上海华力、武汉新芯等销售，受到用户的广泛认可。12吋铜互连单片清洗设备采用了先进的兆声波清洗技术，使颗粒去除效率最高可达99%，产品已经完成大生产线验证，实现了对中芯国际供货。12吋LPCVD设备、12吋高温炉设备、12吋硅材料清洗设备均在国内产线实现应用。质量流量控制器也完成用户验证，部分核心技术上达到国际先进水平，产品已批量供应中芯国际、上海华力等集成电路生产线及上海中微、北方微电子等集成电路高端设备制造商。“十二五”期间，七星电子立式炉和清洗设备在集成电路生产线实现配套12台，其技术延伸应用于泛半导体产业，实现销售500台以上。气体质量流量控制器实现半导体领域销售逾万台，出口美国3000台以上。

七星电子的重组标的北方微电子也是“02专项”项目的重点承担单位，先后承担了12吋刻蚀机、PVD（物理气相沉积）设备的开发，涵盖100-14纳米技术代，产品已经在国内集成电路生产线实现配套应用。本次展览中，北方微电子重点展出了适用40nm至14nm技术代的金属薄膜沉积设备，作为国产高端集成电路设备的成果代表，该产品已顺利通过了中国最大集成电路代工厂中芯国际的产品验证并成为28纳米生产线国产高端装备中的首台Baseline设备。目前北方微电子金属薄膜沉积全系列产品已形成对集成电路、先进封装、LED照明等领域安装应用超过120台套。获得了包括中芯国际、上海华力、武汉新芯以及台湾几大主流集成电路大客户的广泛认可和信任。同时，北方微电子的HM PVD展品吸引了科技部部长万钢及中办领导的关注，并对公司在高端集成电路装备领域所取得的成果表示肯定。